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煅燒石墨加工的操作規(guī)程：
一、作業(yè)分配
供給高純度的石墨卡瓣和石墨基座，為出產(chǎn)優(yōu)質(zhì)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅奠定根底。
二、職位的職責(zé)
1、煅燒石墨零件的制備
2、石墨零件的清洗
3、石墨零件的干燥
4、石墨零件的煅燒
三、流程原理
石墨加工中揮發(fā)性物質(zhì)經(jīng)過(guò)高溫煅燒除掉，以防止雜質(zhì)污染多晶硅在復(fù)原和拉伸硅芯。
四、工藝方針
1、真空泵低真空至30格柵(1x 10-3齒輪)
2、渙散泵高真空到90格柵(1x 10-3齒輪)
3、焙燒爐高壓?jiǎn)?dòng)后20分鐘升壓，每次0.5V。
4、煅燒爐溫度至1550℃
五、泊車及急迫泊車程序及操作方法
1、歡騰冷卻水閥
2、翻開(kāi)真空泵
3、閉式渙散泵制動(dòng)刀、預(yù)熱渙散泵
4、當(dāng)?shù)驼婵盏竭_(dá)30格柵(1x 10-3齒輪)時(shí)，翻開(kāi)真空閥，關(guān)閉低真空閥。
5、翻開(kāi)高真空閥，高到90格柵(1x 10-3齒輪)
6、翻開(kāi)高壓開(kāi)關(guān)，20分鐘后升高電壓。當(dāng)真空度等于80-90格時(shí)，壓力增加到8（x5），爐溫為1550℃，恒溫2-3小時(shí)。
7、中止：緩慢冷卻，通常10分鐘，中止高壓電源，中止渙散泵，關(guān)閉真空閥，中止?fàn)t子，關(guān)閉冷卻水閥。
8、拆爐：拆爐后，戴好口罩和高純手套，將石墨件拆下，用潔凈的塑料袋密封。
9、急迫泊車：先停真空泵，然后停電，最終停水。
六、石墨加工常見(jiàn)事端的分析與處理
（1）停水：當(dāng)即關(guān)閉真空泵閥門，然后關(guān)閉電源。
（2）停電：關(guān)閉真空泵閥門，等候石墨爐和渙散泵溫度降至室溫，然后關(guān)閉電源，最終關(guān)閉循環(huán)水閥門。
（3）不能抽真空：停爐查看密封件的密封情況。
七 連鎖、報(bào)警
水壓、溫度、真空、電壓和電流
八、設(shè)備清單
循環(huán)水系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、渙散泵、石墨煅燒爐
九、石墨加工工藝流程
石墨清洗→裝爐→抽真空→開(kāi)爐→升溫→恒溫→降溫