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石墨盤根用碳纖維絲與石墨線等材料組合織造，并用鎳絲增強盤根的機械強度，添加石墨油潤滑劑。該產(chǎn)品有高碳盤根的特性和柔性石墨盤根的出色功用，具有自潤滑、高強度、耐高低溫、耐腐蝕等優(yōu)異功用。廣泛適用于高溫高壓閥門密封。

在外延成長領(lǐng)域，高純石墨盤是必不可少的。它在外延成長中起到加熱和裝載半導(dǎo)體晶圓的作用?，F(xiàn)在，主流外延設(shè)備廠商配套的石墨盤在結(jié)構(gòu)上基本相同，均采用在石墨盤基座上規(guī)劃一個晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。這種規(guī)劃在成長小尺度的晶圓(比如說4寸半導(dǎo)體晶圓)來說是合理的，保護起來也很方便。但對于成長大尺度的外延片，基于下降晶圓被旋轉(zhuǎn)的石墨盤甩出的風(fēng)險，晶圓槽底部相對于石墨盤頂部的高度比小尺度石墨盤大一些。